儀器設備中心

NCKU成功大學-研究發展處-儀器設備中心
◆分類清單 
 
◆分類清單
 
重要連結 
   
快速搜尋 
   

Recent

數據載入中...
最後更新日期   
2017-12-04

高真空紅外線超快速加熱及退火系統(RTA)

 

High vacuum infrared ultra-speed heating and quenching system
高真空紅外線超快速加熱及退火系統
 
壹、儀器設備說明 (規格)
 
1. THERMO RIKO Infrared heating system GVL298
高真空紅外線快速加熱急退火系統
    (1) Infrared guide section (IG298)
    (2) Vacuum flange
    (3) Guide rod
    (4) Vacuum moving device
    (5) Temperature controller
    (6) Flow switch
 
2. VACUUM CHAMBER
    A globe type vacuum chamber and sample stand
   (Quartz sample holder, R sheathed thermo couple)
 
3. VACUUM PUMP OSAKA G350F
 
Max. heating rate : 100-150ºC/sec
Max. attainable temperature: 1400 ° C
Heating area : 5 to 20mm dia.
 
 
貳、服務項目:
 主要應用於快速退火、氧化、氮化、高真空下熱處理等
參、取樣、使用應注意事項:
一、預約時應詳細填寫包含:升溫流程、最高溫度、停留時間、熱處理真空度(收費包含抽真空、升降溫時間)、氣體流量、試片熔點
、若有特殊需求實驗進行前三天與機台研究助理討論升、降溫過程之合理必要性,特殊製程須經儀器負責人同意,方可使用。
熱穩定性不佳亦造成污染的材料嚴禁進入機台。(如:光阻塑膠基板有機材料膠帶)。違反造成污染者須負起機台維修之費用
四、注意事項
(1)使用前需詳讀操作手冊
(2)結束前將本系統回復室溫以利下位使用者操作,使用步驟需依照操作手冊規定
(3)加熱溫度若高於1000持溫時間需小於60 sec1350為加熱上限
(4)適用溫度區間 300-1350
(5)結束前所有參數需回復至初始設定(包含所有升降溫區間之溫度、加熱時間歸零)
五、違反上述規定者恕不予服務。
 
肆、使用時段與預約:
應於預計代工時程14天前到儀設中心上網預約及繳交填寫升溫流程表並與機台研究助理討論
試車完畢後每周一二三四五09:00-17:00開放super user自行操作。
伍、訓練課程規定辦法
 
試車期間開辦super user自行操作訓練課程。未來視需要每季(登記滿五人以上)開辦super user自行操作訓練課程。訓練課程收費比照儀設中心一般機台標準
陸、收費辦法及標準(含訓練課程)
校內開放super user自行操作
校外、業界僅開放儀器代工
(1)
校內學術:
代工
Super user
 
真空無通氣體300/
通氣體(O2,N2) 400/
 
真空無通氣體250/
通氣體(O2,N2) 350/
校外學術:真空無通氣體450/
          通氣體(O2,N2)) 550/
業界:真空無通氣體600/
      通氣體(O2,N2)) 700/
柒、儀器聯絡與管理人:  
 聯絡人:姜東漢 諮詢教授:黃榮俊
 分機:65266    分機:65266
 儀器放置地點:儀設大樓1樓0113室
捌、其他注意事項:
本儀器將與「超高真空二維移動遮罩式雷射分子束磊晶鍍膜系統」共同申請一名碩士級研究助理進行儀器操作。

 

(1).收費辦法需含校內學術、校外學術及業界收費標準。若無訂定將採用default(校外+50%、業界+100%)